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반도체 소자공정기술  표지이미지

반도체 소자공정기술

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  • ISBN: 8970888985
  • 저   자: Michael Quirk;Julian Serda 원저;최성재 옮김
  • 발행인: 淸文閣
  • 발행사항: a파주:b淸文閣,c2006
  • 매체구분: 인쇄자료(책자형)
  • 형태사항: axviii, 806p.:b삽화, 도표;c28cm
  • 주기사항: aSemiconductor manufacturing technology a권말부록으로 '화학물질과 안전' 등 수록
  • 북링크 MARC

서평정보

반도체 공학 전공서 이 책은 반도체 산업의 전망과 반도체 물질의 특성 소자기술 실리콘과 웨이퍼 제조 반도체 제조공정에서의 화학물질 공정실의 가스제어 IC 제조공정의 개관 등으로 구성되었다...

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