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박막화 기술

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  • ISBN: 9788971691618
  • 저   자: 저자: 와사 기요다까;하야가와 시게루;역자: 원용신
  • 발행인: 겸지사
  • 발행사항: a서울:b겸지사,c2007
  • 매체구분: 인쇄자료(책자형)
  • 형태사항: a353 p.:b삽화;c23 cm
  • 주기사항: a薄膜化技術 a권말부록으로 '박막 실험의 기본 기법', '진공.박막 관련 재료기술 자료' 수록 a와사 기요다까의 한자명은 '和佐淸孝', 하야가와 시게루의 한자명은 '早川茂'임
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서평정보

전기공학 전문서 개정3판 이 책은 박막의 개념과 특징 형성과 평가 스피터 장치와 특성 박막 구조와 정밀제어 나노미터 재료 등의 내용으로 구성했다 책 뒤편에는 박막 실험 기본 기법과 재료기술 자료도 함께 담았다...

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