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미세전자 공학
- 볼 륨:
- ISBN: 8972832766
- 저 자: Stephen A. Campbell 원저;이상렬 역
- 발행인: 홍릉과학출판사
- 발행사항: a서울:b홍릉과학출판사,c2003
- 매체구분: 인쇄자료(책자형)
- 형태사항: a762p.:b삽도;c27cm
- 주기사항: ascience and engineering of microelectronic fabrication
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서평정보
이 책은 상위 수준의 학부생 또는 1,2학기 대학원생의 교재 및 전문연구의 참고문헌으로 사용 가능하다 미세전자 공학2판은 미세전자소자 제작 분야의 쉬운 소개와 심도 깊은 내용을 다루었으며 2판에서 개정 및 보완된 내용에는 포토리소그래피, 플라즈마 및 이온식각, 이온주입법, 확산, 산화, 진공증착, 기상...
같은 책 소장정보
| 도서관명 | 소장위치 | 청구기호 | 등록번호 | 대출상태 | 반납예정 | 예약횟수 | 예약 |
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